里其乐干式真空泵具有低碳、环保的特点。干式真空泵无需使用润滑油，运行稳定，使用周期长，没有油污等产生，符合现代企业节能环保的理念。
里其乐干式真空泵常见的应用领域如下：
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中。
2)半导体刻蚀工艺。半导体蚀刻生产工艺中往往要用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而是需要微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求。
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，需要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵。
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
综上所述，干式真空泵是顺应时代潮流的设备，在这个倡导节能减排和绿色环保的时代，干式无油真空泵的出现显然占得先机，在未来，会有更多的企业将会将眼光看向无油真空泵。
