TwisTorr 404 FS-涡轮分子泵TwisTorr 404 FS

优势速览：

 

• 创新的 TwisTorr 技术 — 对小分子气体（如氦气和氢气）提供高压缩比，实现了高性能和最小的系统占用空间。
• 高前级耐压 — 允许使用更小的前级泵，从而降低了系统成本和尺寸。
• 安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动、低噪音和最佳轴承工作条件可延长泵的使用寿命，从而实现使用维护成本优化，最大程度减少系统停机时间，并保证长时间稳定的抽气性能。
• 独有的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油，实现任意角度安装。
• “三维”泵控制软件使灵活性、速度和简便性达到最大化，可在泵的操作条件下达到最佳气体流量和压缩比。

 

技术特点：

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技术规格
抽速：	ISO 100K/ISO 100F/CFF 6 英寸
N2 He H2 Ar	380 L/s 505 L/s 415 L/s 340 L/s
最高气体 通量 (*)	风冷 （环境温度 25 °C）	水冷 （水温 15 °C/ 室温 25 °C）
N2	4.3 mbar L/s 255 SCCM	6.2 mbar L/s 367 SCCM
He	7.9 mbar L/s 467 SCCM	10.4 mbar L/s 615 SCCM
Ar	1.5 mbar L/s 89 SCCM	3.3 mbar L/s 195 SCCM
(*) 前级泵 11.6 m3/h
压缩比与前级耐压*
N2 He H2 Ar	> 1 × 1011   2 × 108   3 × 106 > 1 × 1011	10 mbar 10 mbar > 4 mbar 8.5 mbar
(**) 前级耐压是指涡轮分子泵仍能产生 100 压缩比的压力，该压力在水冷模式下估算得出
极限真空（使用推荐的前级泵）	< 1 × 10-10 mbar (< 1 × 10-10 Torr)
抽气口法兰	ISO 100K、ISO 100F、CFF 6 英寸
前级管道法兰	NW25（NW16 为可选附件）
转速	自动设置，40800 RPM 至 49500 RPM
启动时间	< 5 分钟
推荐的前级泵	Agilent DS302 旋片泵 Agilent IDP-10 涡旋式干泵 Agilent IDP-15 涡旋式干泵
操作位置	任意位置
操作环境温度	+5 °C 至 +35 °C
空气相对湿度	0%–90%（无冷凝）
烘烤温度	ISO 泵：抽气口法兰处 80 °C CFF 泵：抽气口法兰处 120 °C
润滑油	永久性润滑
冷却要求
风冷	空气温度 +5 °C 至 35 °C
水冷	水温由 +15 °C 至 +25 °C 水流速最低 100 L/h
噪声声压级 （全速运行时距离 1 m 处）	43 dB(A)
储存温度	–40 °C 至 +70 °C
最高海拔	3000 m
重量 kg（磅）	ISO100K ISO100F CFF 6"	22.6 kg (49.8) 23.7 kg (52.3) 23.5 kg (51.8)

规范符合性
EMC（控制单元） 安全性 (CE/CSA) 机械指令 低电压指令 EMC 指令（控制单元） ROHS	61326-1 61010-1 DIR 2006/42/CE DIR 2014/35/EU DIR 2014/30/EU DIR 2011/65/EU