TwisTorr 804 FS-涡轮分子泵TwisTorr 804 FS

优势速览：

• 创新的 TwisTorr 技术 — 对小分子气体的高压缩比实现了高性能和最小的系统占用空间。
• 高前级耐压 — 允许使用更小的前级泵，从而降低了系统成本和尺寸。
• 安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动、低噪音和最佳轴承工作条件可延长泵的使用寿命，从而实现使用维护成本优化，最大程度减少系统停机时间，并保证长时间稳定的抽气性能。
• 独有的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油，实现任意角度安装。
• “三维”泵控制软件使灵活性、速度和简便性达到最大化，可在泵的操作条件下达到最佳气体流量和压缩比。

技术特点：

抽速：	ISO200K-F	ISO250K-F	CFF10
N2 He H2 Ar	720 L/s 660 L/s 485 L/s 690 L/s
最高气体通量 (*)	风冷 （空气温度 25 °C）	水冷 （水温 15 °C/室温 25 °C）
N2	4.3 mbar L/s 255 SCCM	6.1 mbar L/s 367 SCCM
He	7.9 mbar L/s 467 SCCM	10.4 mbar L/s 615 SCCM
Ar	1.5 mbar L/s 89 SCCM	3.3 mbar L/s 195 SCCM
(*) 前级泵 11.6 m3/h
压缩比与前级耐压*
N2 He H2 Ar	> 1E + 11 2E + 08 3E + 06 1E + 11	10 mbar 10 mbar 4 mbar 8.5 mbar
(*) 前级耐压定义为，在水冷模式下，当涡轮泵仍能产生 100 的压缩比时的压力
采用推荐前级泵时的极限真空	< 1 × 10-10 mbar (< 1 × 10-10 Torr)
抽气口法兰	ISO 200K，ISO 200F，ISO 250K， ISO 250F，CFF 10 英寸
前级管道法兰	NW25 或 NW40
推荐的前级泵	DS302 IDP10 IDP15
操作位置	任意位置
操作环境温度	+5 °C 至 +35 °C
润滑油	永久性油脂润滑
冷却要求
风冷	空气温度 +5 °C 至 35 °C
水冷	水温由 +15 °C 至 +25 °C 水流速最低 100 L/h
噪声声压级 （全速运行时距离 1 m 处）	43 dB(A)