XGS-600 控制器
1 x 10-11 Torr 到大气压
8个同步通道进行压力测量
PCG-750 皮拉尼电容薄膜规管
5x 10 -5 mbar (3.8 x 10 -5 Torr)
镍灯丝
PVG-500S 皮拉尼规管
5 x 10-4 到 1000 mbar(3.75 x 10-4 到 750 Torr)
80 ms